氦質譜檢漏儀的特點：檢測時間和周期非常短，可以達到5s以內(nèi)；檢測的介質比較常用，僅需壓縮空氣即可；據(jù)日本有關文章介紹，日本汽車制造業(yè)，已有30多種零部件在使用氦質譜檢漏儀檢漏，解決密封問題。其中包括液壓系統(tǒng)、制動系統(tǒng)、轉向系統(tǒng)、避震系統(tǒng)、汽車輪轂。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。
據(jù)日本有關文章介紹，日本汽車制造業(yè)，已有30多種零部件在使用氦質譜檢漏儀檢漏，解決密封問題。其中包括液壓系統(tǒng)、制動系統(tǒng)、轉向系統(tǒng)、避震系統(tǒng)、汽車輪轂。氦質譜檢漏儀應用制冷行業(yè)：冰箱、空調、汽車用空調、蒸發(fā)器、冷凝器、奪縮機、低溫儲槽。氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏效率，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。
檢漏時噴在漏孔處停留的時間應為儀器響應時間的3倍，該時間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時間，即為兩次噴氦的較小間隔時間，當然真空系統(tǒng)越龐大，該間隔時間也越長。氦氣檢漏儀可對使用過程中產(chǎn)生的濃度不合格氦氣進行提純，極大降低氦氣損耗（功能可選）；質譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進入磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。
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